技術(shù)編號：6990227
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及在用于太陽能電池等的大面積基板上形成硅等的薄膜的技術(shù)。技術(shù)背景薄膜硅太陽能電池與本體型的結(jié)晶硅太陽能電池比較，硅的消耗量少，大面積化比較容易，而且，制造成本也低，所以近年來積極研究。例如串聯(lián)型的薄膜硅太陽能電池 (以下，單稱為太陽能電池)通過在微結(jié)晶硅膜的上表面層疊非晶硅膜，在各層吸收不同的波段的光而提高光能的轉(zhuǎn)換效率。在大面積基板上形成非晶硅膜(a-Si膜)、微結(jié)晶硅膜(μ C-Si膜)的情況下， 例如采用在真空環(huán)境下，使甲硅烷(SH4)氣體與...
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