技術(shù)編號(hào)：6990726
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的實(shí)施例是有關(guān)薄膜電池領(lǐng)域，且特別是關(guān)于。背景技術(shù)近來(lái)對(duì)縮放薄膜電池尺寸以包含更小特征結(jié)構(gòu)、同時(shí)提高大量制造薄膜電池的能力所做的努力，大多依賴傳統(tǒng)薄膜電池的制造方法和技術(shù)。傳統(tǒng)方法和技術(shù)包括在典型薄膜電池工藝流程的每一和各個(gè)沉積操作中使用遮蔽掩?；蛞唤M遮蔽掩模。例如，在傳統(tǒng)工藝中，處理工具裝有遮蔽掩模，且在處理工具中進(jìn)行單層沉積，接著卸下第一遮蔽掩模而換上供另一沉積操作使用的第二遮蔽掩模。另外，用于薄膜電池制造的沉積室或處理工具通常設(shè)有手套箱，手套箱...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。