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獲得與非極性和半極性P-型(Al,Ga,In)N低電阻接觸的技術(shù)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6991105

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本發(fā)明涉及獲得與ρ型(Al,Ga,h)N低電阻接觸的技木,特別是與非極性和半極性P型(Al,Ga, In)N低電阻接觸的技術(shù)。背景技術(shù)(注本申請參考大量不同的出版物,如在整個說明書中通過ー個或更多個括號內(nèi)的參考數(shù)字所指示的,例如,[x] O能夠在以下標(biāo)題為“參考文獻(xiàn)”的部分發(fā)現(xiàn)依照這些參考數(shù)字排序的這些不同出版物的列表。這些出版物的每ー篇都通過引用并入本文)ひ1ぷル^1川光電子和電子器件(也稱為“第三族氮化物”、“111氮化物”、“11ト氮化物”或僅僅是“...
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