技術(shù)編號：6991675
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種門閥，更詳細(xì)而言，涉及通過具備控制開閉部件的朝上下方向的移動的上下動作驅(qū)動器和控制朝前后方向的移動的前后退驅(qū)動器，使打開或關(guān)閉晶片的移動通道的開閉部件正確的以“L”字形動作。背景技術(shù)由本申請人申請了狹口閥，通過所述專利申請第10-2003-0071906號(發(fā)明名稱狹口閥)改善配置在晶片的移動通道周圍的密封部件的配置構(gòu)造防止密封移動通道的密封部件損傷，并通過安裝在閥門驅(qū)動器的指示裝置能夠確認(rèn)運(yùn)行狀態(tài)。圖I表示根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的狹口閥的截面圖，該申...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。