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半導(dǎo)體裝置及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6992886

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本發(fā)明涉及。背景技術(shù)GaN系肖特基勢魚二極管(GaN-SBDSchottky barrier diode)因其物性特征而備受期待作為高耐壓且能夠高速動作的設(shè)備應(yīng)用于服務(wù)器系統(tǒng)等。為了在GaN-SBD中降低能量損失,重要的是降低通態(tài)電阻和正向電壓。對于通態(tài)電阻和正向電壓的降低,有效的是降低陽極電極(肖特基電極)的功函數(shù)。另一方面,陽極電極的功函數(shù)與反向耐壓是制衡的關(guān)系。因此,如果為了降低通態(tài)電阻和正向電壓而降低陽極電極的功函數(shù),則反向耐壓降低。因此,為了高耐...
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