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半導(dǎo)體器件及半導(dǎo)體器件的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6992899

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本發(fā)明涉及。背景技術(shù)GaN, AIN, InN等氮化物半導(dǎo)體不僅帶隙寬,材料特性也優(yōu)秀,因而可以利用于高耐壓電子設(shè)備、短波長(zhǎng)發(fā)光設(shè)備等。特別是,有關(guān)作為高耐壓電子設(shè)備的場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FET,Field Effect Transistor),對(duì)高電子遷移率晶體管(HEMT,High Electron mobilityTransistor)進(jìn)行了研究,并且可以利用于高功率、高效率放大器或大功率開關(guān)設(shè)備等。但是,在以往的橫向結(jié)構(gòu)(電流相對(duì)于襯底面大致平行地流動(dòng)的...
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