技術(shù)編號(hào)：6993927
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于介電薄膜，涉及一種滲流型固溶體/銀復(fù)合陶瓷薄膜(Pb， Sr) TiO3-Agx的制備方法。背景技術(shù)近年來介電薄膜材料逐漸成為微電子、材料科學(xué)及固體物理學(xué)等領(lǐng)域的一個(gè)重要研究熱點(diǎn)，電介質(zhì)薄膜在微電子領(lǐng)域已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。鈦酸鍶、鈦酸鉛是兩種典型的電介質(zhì)材料，由于Sr2+、Pb2+的半徑相差不大，分別為 0. 113nm、0. 120nm，鈦酸鍶與鈦酸鉛可以生成連續(xù)固溶體(PlvxSrx)TiO3，其中χ代表其中鍶的摩爾分?jǐn)?shù)。而不同組成的PST...
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