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開關(guān)及其制造方法、繼電器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6995025

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本發(fā)明涉及一種開關(guān)及其制造方法以及繼電器。具體而言,涉及使用有金屬觸點的開關(guān)及其制造方法、以及以與可動觸點部的移動方向垂直的面為觸點的開關(guān)及其制造方法,此外還涉及使用有該開關(guān)結(jié)構(gòu)的繼電器。背景技術(shù)作為使金屬觸點接觸分離且以與可動觸點部的移動方向垂直的面為觸點(接觸面)的MEMS(Micro Electrical-Mechanical Systems)開關(guān),具有專利文獻(xiàn)1公開的結(jié)構(gòu)。 在該開關(guān)11中,如圖1 (a)所示,在基板1 的上面形成有絕緣層13a,在...
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