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技術(shù)編號(hào)：6995088

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本發(fā)明有關(guān)一種垂直三維金屬絕緣金屬電容結(jié)構(gòu)，特別是有關(guān)一種在邏輯集成電路中，整合銅鑲嵌制程并與銅鑲嵌制程相容的垂直三維金屬絕緣金屬電容結(jié)構(gòu)的制作方法。(2)背景技術(shù)精密的電容對(duì)于互補(bǔ)式金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS，complementary metal oxidesemiconductor)模擬應(yīng)用一般為金屬絕緣金屬電容(MIM capacitor structure，metal-insulator-metal capacitor)或是多晶硅絕緣多晶硅電容(...
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