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技術(shù)編號：6997892

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相關(guān)申請本申請涉及于2000年4月3日提交的、序列號為09/541,255的“在Si上形成厚松弛的SiGe層的方法”，和于2001年2月13日提交的、序列號為09/783,817的“降低Si1-xGexCMOS漏瀉電流的方法”。在厚Si1-xGex層中，通過形成錯配位錯，應(yīng)變(應(yīng)力)被塑性地松弛，R.Hull等，Nucleation of misfit dislocations in strained-layer epitaxy in theGexSi1-...
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