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集成電路裝置及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6998285

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本發(fā)明涉及一種具有穿娃導(dǎo)電插塞(through-silicon via,TSV)的堆疊晶片的,特別涉及一種堆疊晶片的,其在形成穿娃導(dǎo)電插塞之前接合(bonding)晶片,不需在接合晶片之間形成焊墊(bump pad)或使用焊料。背景技術(shù)集成電路裝置的封裝技術(shù)一直朝輕薄化與安裝可靠性的方向研發(fā)。近年來,隨著電子產(chǎn)品輕薄化與多功能性的要求,許多技術(shù)已經(jīng)逐漸為此領(lǐng)域的人所公知。以存儲器裝置為例,通過使用至少兩芯片(chip)的堆疊方式,可通過半導(dǎo)體集成工藝,生產(chǎn)...
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