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技術(shù)編號：6998404

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本發(fā)明涉及一種激光元件，尤其涉及一種。背景技術(shù)垂直共振腔面射型激光(VCSEL)的主要特征在于可以大致上以垂直其芯片上表面的方式發(fā)出光線。VCSEL通?？赏ㄟ^化學(xué)氣相沉積(MOCVD)或分子束磊晶(MBE)等沉積方法來形成具有多層結(jié)構(gòu)的磊晶疊層，并通過常見的半導(dǎo)體工藝來加以制作。磊晶疊層包含一為主要發(fā)光區(qū)的主動區(qū)(active region)，以及二分別位于該主動區(qū)的上下兩側(cè)的布拉格反射鏡(DBR)堆棧層。該二布拉格反射鏡堆棧層之間構(gòu)成一激光共振腔，可供主...
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