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技術(shù)編號：6998603

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本發(fā)明涉及RF MEMS (射頻微機(jī)械系統(tǒng))，特別涉及一種低驅(qū)動(dòng)電壓的RF MEMS電容式并聯(lián)開關(guān)。背景技術(shù)MEMS作為一種新興的技術(shù)，給微波無線通信領(lǐng)域帶來了革命性的變化。RFMEMS 是利用光刻技術(shù)制作的小型化機(jī)械器件，用于射頻和微波頻率電路中的信號處理。RF MEMS 開關(guān)利用力學(xué)運(yùn)動(dòng)來控制射頻信號傳輸?shù)耐〝?，是RF MEMS器件中較早進(jìn)入應(yīng)用領(lǐng)域的器件之一。MEMS開關(guān)與目前的射頻系統(tǒng)中所用的電控開關(guān)(PIN 二極管或GaAs FET)不同，它沒有...
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