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曝光裝置、曝光方法和器件制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):6998649

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本發(fā)明涉及經(jīng)液體在基片上照射曝光光以對(duì)基片曝光的。此外,本發(fā)明涉及使用了液浸法的投影曝光裝置中使用的光學(xué)部件和使用了該光學(xué)部件的投影曝光裝置。再者,本發(fā)明涉及適合于在與液體或氣體接觸的環(huán)境下使用的光學(xué)部件。背景技術(shù)利用將在掩模上形成的圖案轉(zhuǎn)印到感光性的基片上的所謂的光刻的方法來(lái)制造半導(dǎo)體器件或液晶顯示器件。在該光刻工序中使用的曝光裝置具有支撐掩模的掩模臺(tái)和支撐基片的基片臺(tái),一邊逐次移動(dòng)掩模臺(tái)和基片臺(tái),一邊經(jīng)投影光學(xué)系統(tǒng)將掩模的圖案轉(zhuǎn)印到基片上。近年來(lái),為了...
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