技術(shù)編號:6998906
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于功率半導(dǎo)體器件領(lǐng)域,特別涉及SOI (Semiconductor OnInsulator)橫向超結(jié)功率半導(dǎo)體器件。背景技術(shù)功率半導(dǎo)體器件在國民經(jīng)濟和社會生活中具有不可替代的關(guān)鍵作用,其大量用于消費類電子、工業(yè)控制和國防裝備。功率半導(dǎo)體器件也是節(jié)能減排的關(guān)鍵技術(shù)和基礎(chǔ)技術(shù),特別是我國將節(jié)能降耗作為國家的基本國策之一,半導(dǎo)體功率器件的發(fā)展及推廣應(yīng)用是節(jié)能的重要技術(shù)手段。在功率半導(dǎo)體器件中,MOS型功率器件(Power MOSFEI^s)能顯著地減小了...
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