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側(cè)部浮動耦合電容器器件終端結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:6998995

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側(cè)部浮動耦合電容器器件終端結(jié)構(gòu)相關(guān)申請的引用本申請主張于2010年4月15日提交的美國臨時申請第61/324,587號的權(quán)益,其全部內(nèi)容結(jié)合于此作為參考用于所有目的。背景技術(shù)在包括高壓器件的半導(dǎo)體器件中,期望獲得主要由漂移區(qū)電阻決定的低導(dǎo)通電阻。通常,通過增加漂移區(qū)的摻雜水平來降低晶體管的低導(dǎo)通電阻。然而,增加漂移區(qū)的摻雜水平具有降低擊穿電壓的不良效果。因此優(yōu)化漂移區(qū)的摻雜水平,以在仍然維持足夠高的擊穿電壓的同時獲得最大導(dǎo)通電阻。隨著對擊穿電壓要求的增加,...
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