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具有多層銅線路層的半導(dǎo)體器件及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7000292

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體器件及其制造方法,尤其涉及一種具有多個(gè)銅線線路層的半導(dǎo)體器件及其制造方法。背景技術(shù)大規(guī)模集成電路的集成度和運(yùn)行速度變得越來(lái)越高,隨著集成度的提高,半導(dǎo)體元件,比如構(gòu)成集成電路的晶體管也制作得更加小型化。小型化的半導(dǎo)體元件提高了運(yùn)行速度。電路延遲時(shí)間影響大規(guī)模集成電路的運(yùn)行速度,而電路延遲時(shí)間決定于線路的電阻和寄生電容。因此,希望減小線路的電阻和寄生電容。通過(guò)采用電阻比Al小的Cu作為主要線路材料,可以使線路的電阻降低。在實(shí)踐中很難找到比...
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