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一種藍(lán)光發(fā)光二極管的外延片結(jié)構(gòu)及其制造工藝的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7000421

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體照明,具體涉及發(fā)光二極管外延片結(jié)構(gòu)和加工工藝。 背景技術(shù)大功率的藍(lán)光發(fā)光二極管的用途越來越廣,從原來的公共照明正在向家用照明發(fā)展,其節(jié)能環(huán)保效果顯著。外延結(jié)構(gòu)是發(fā)光二極管的核心部分,目前最成熟且最具有效率的藍(lán)光發(fā)光二極管是采用氮化鎵作為外延結(jié)構(gòu)的基本材料,通常的結(jié)構(gòu)是在襯底上生長有GaN基材料和器件的外延層?,F(xiàn)有的一種大功率藍(lán)光LED的外延結(jié)構(gòu)如圖1所示,是在襯片層的上面自下至上依次生長有藍(lán)寶石層襯底層、低溫GaN緩沖層、N-GaN接觸層、...
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