技術(shù)編號(hào):7000815
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及固體攝像裝置、其制造方法和電子設(shè)備,具體地涉及一種形成為與 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))元件混合配置在同一芯片上的固體攝像裝置、其制造方法和電子設(shè)備。背景技術(shù)例如,諸如數(shù)字視頻電子設(shè)備、數(shù)字靜物電子設(shè)備等電子設(shè)備具有諸如CCD(電荷耦合器件)圖像傳感器或CMOS (互補(bǔ)金屬氧化物硅晶體管)圖像傳感器等固體攝像裝置。例如,日本專(zhuān)利特開(kāi)2004-153503號(hào)(下面稱(chēng)作專(zhuān)利文獻(xiàn)1)公開(kāi)了一種將角速度傳感器部并入上述現(xiàn)有的固體攝像裝置中的相機(jī)模塊。具體來(lái)說(shuō),...
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