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相變存儲(chǔ)單元及其形成方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7001752

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造,尤其涉及一種。背景技術(shù)相變存儲(chǔ)器(PhaseChange Random Access Memory, PCRAM)技術(shù)是基于S. R. Ovshinsky在20世紀(jì)60年代末提出相變薄膜可以應(yīng)用于相變存儲(chǔ)介質(zhì)的構(gòu)想建立起來(lái)的。作為一種新興的非易失性存儲(chǔ)技術(shù),相變存儲(chǔ)器在讀寫(xiě)速度、讀寫(xiě)次數(shù)、數(shù)據(jù)保持時(shí)間、單元面積、多值實(shí)現(xiàn)等諸多方面對(duì)快閃存儲(chǔ)器都具有較大的優(yōu)越性,已成為目前非揮發(fā)存儲(chǔ)技術(shù)研究的焦點(diǎn)?,F(xiàn)有技術(shù)中相變存儲(chǔ)器可以通過(guò)施加不同的...
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