技術(shù)編號(hào):7005145
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及ー種基板,尤其涉及針對(duì)基板的單ー個(gè)面進(jìn)行處理的裝置及方法。背景技術(shù)現(xiàn)代科技產(chǎn)品中半導(dǎo)體設(shè)備的應(yīng)用相當(dāng)廣泛,尤其是通訊、計(jì)算機(jī)、網(wǎng)絡(luò)、光電相關(guān)等電子設(shè)備中,半導(dǎo)體的硅基板存在是不可或缺的,而隨著市場對(duì)這些電子產(chǎn)品的需求日益増加,如何快速、有效率的改良半導(dǎo)體的生產(chǎn)エ藝并提供足供應(yīng)付市場需求的半導(dǎo)體組件是各家廠商努力的目標(biāo)。在一般半導(dǎo)體生產(chǎn)エ藝中,會(huì)依硅基板應(yīng)用所需的設(shè)計(jì)條件不同而エ藝各有差異,其中有濕式化學(xué)蝕刻エ藝,此種濕エ藝有多種エ藝上的應(yīng)用,例如...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。