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表面處理裝置及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7005145

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本發(fā)明涉及ー種基板,尤其涉及針對(duì)基板的單ー個(gè)面進(jìn)行處理的裝置及方法。背景技術(shù)現(xiàn)代科技產(chǎn)品中半導(dǎo)體設(shè)備的應(yīng)用相當(dāng)廣泛,尤其是通訊、計(jì)算機(jī)、網(wǎng)絡(luò)、光電相關(guān)等電子設(shè)備中,半導(dǎo)體的硅基板存在是不可或缺的,而隨著市場對(duì)這些電子產(chǎn)品的需求日益増加,如何快速、有效率的改良半導(dǎo)體的生產(chǎn)エ藝并提供足供應(yīng)付市場需求的半導(dǎo)體組件是各家廠商努力的目標(biāo)。在一般半導(dǎo)體生產(chǎn)エ藝中,會(huì)依硅基板應(yīng)用所需的設(shè)計(jì)條件不同而エ藝各有差異,其中有濕式化學(xué)蝕刻エ藝,此種濕エ藝有多種エ藝上的應(yīng)用,例如...
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