技術(shù)編號：7005203
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大致涉及旋轉(zhuǎn)饋入，且更具體地，涉及在氣相沉積系統(tǒng)中的真空室結(jié)構(gòu)，氣相沉積系統(tǒng)具有用來提供通過結(jié)構(gòu)的壁的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的改進(jìn)的旋轉(zhuǎn)饋入。背景技術(shù)薄膜光伏(PV)模塊(也稱為“太陽能電池板”)的生產(chǎn)典型地包括將襯底(例如玻璃板)運(yùn)入且運(yùn)出沉積系統(tǒng)中的一個或多個真空室，在沉積系統(tǒng)中，半導(dǎo)體材料(例如碲化鎘(CdTe))的薄膜層(在該產(chǎn)業(yè)中通常認(rèn)為小于10 μ m)被沉積至襯底的表面之上。該沉積過程可以是任何已知的過程，例如封閉空間升華(CSS)系統(tǒng)、化學(xué)氣相沉積...
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