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一種快恢復(fù)二極管及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7005287

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本發(fā)明主要涉及到一種快恢復(fù)ニ極管器件的結(jié)構(gòu)和制作エ藝,尤其涉及ー種新型的具有低正向壓降的溝槽結(jié)構(gòu)侵入PN結(jié)的肖特基快恢復(fù)ニ極管器件的結(jié)構(gòu)和制作エ藝。背景技術(shù)具有溝槽結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件,已成為器件發(fā)展的重要趨勢(shì)。對(duì)于功率半導(dǎo)體器件,不斷降低導(dǎo)通壓降或不斷提高電流密度的要求成為器件發(fā)展的重要趨勢(shì)。結(jié)勢(shì)壘型肖特基整流器的發(fā)明人B J Baliga提出了ー種侵入PN結(jié)的肖特基勢(shì)壘整流器(MPS),如圖I所示,器件的表面含有多個(gè)P型導(dǎo)電材料區(qū)103,在P型導(dǎo)電材料區(qū)之...
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