技術(shù)編號(hào):7005300
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,特別涉及。背景技術(shù)在玻璃襯底上制備高分辨率全彩色的有源 矩陣液晶顯示屏(AM-IXD)和有源矩陣有機(jī)發(fā)光二極管顯示屏(AM-OLED),尤其是將周邊驅(qū)動(dòng)電路集成一體化的板上系統(tǒng)(SOP)顯示屏,需要高性能的低溫多晶硅薄膜晶體管(TFT)作為顯示器件(LCD或0LED)的選址或驅(qū)動(dòng)元件。目前,獲得多晶硅材料的方法主要有固相晶化(SPC)、準(zhǔn)分子激光退火(ELA)、金屬誘導(dǎo)晶化(MIC)和金屬誘導(dǎo)橫向晶化(MILC)等技術(shù)。固相晶化法...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。