技術(shù)編號：7005496
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及流體系統(tǒng)、保持機構(gòu)和中間支承件，該流體系統(tǒng)包括流體回路裝置， 通過由配管和管接頭連接多個流體設(shè)備而構(gòu)成，多個所述流體設(shè)備用于控制或測量流體的狀態(tài)；以及保持機構(gòu)，用于保持所述流體回路裝置。背景技術(shù)在用于半導(dǎo)體制造工序等的流體回路裝置中，具有如下結(jié)構(gòu)的裝置縱橫配置多個流體設(shè)備，并利用配管和管接頭連接相鄰的各流體設(shè)備，使配管的高度一致。例如利用保持機構(gòu)保持這種流體回路裝置，該保持機構(gòu)具有像基板那樣的基座構(gòu)件和像托架那樣的中間支承件，通過中間支承件將流體...
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