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一種肖特基二極管的原型器件及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7006764

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本發(fā)明涉及肖特基二極管的原型器件及其制備方法。背景技術(shù) 肖特基二極管是利用金屬和半導(dǎo)體之間接觸勢壘進行工作的一種多數(shù)載流子器件。傳統(tǒng)的肖特基二極管反向特性較差,并且制作工藝繁瑣。制作肖特基二極管原型器件最常用的材料是Si,SiC,金剛石。Si材料不適合在高溫下工作,不宜作為大功率與抗輻射器件。SiC,金剛石價格昂貴,生長溫度高(>1000℃)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種適合在高溫,強輻射條件下使用的肖特基二極管原型器件及其制備方法。本發(fā)明的肖特基二極管...
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