技術編號：7007898
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種，包括提供基底，所述基底分為核心區(qū)和外圍區(qū)，在所述核心區(qū)形成有多個相互隔開的第一柵極結(jié)構(gòu)，所述第一柵極結(jié)構(gòu)包括第一介質(zhì)層、位于所述第一介質(zhì)層上的浮柵、位于浮柵上的第二介質(zhì)層、位于所述第二介質(zhì)層上的控制柵，所述外圍區(qū)形成有柵極結(jié)構(gòu)材料層，所述柵極結(jié)構(gòu)材料層包括柵介質(zhì)材料層和位于所述柵介質(zhì)材料層上的柵極材料層；在靠近所述第一柵極結(jié)構(gòu)上表面的側(cè)壁形成第一側(cè)墻，相鄰兩個第一側(cè)墻相互隔開；圖形化所述柵極結(jié)構(gòu)材料層形成第二柵極結(jié)構(gòu)，所述第二柵極結(jié)構(gòu)包括柵介質(zhì)層和位...
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