技術(shù)編號:7007925
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種具有隧道結(jié)結(jié)構(gòu)的氮極性面發(fā)光二極管,包括由下至上依次設(shè)置的藍(lán)寶石襯底、低溫成核層、非摻雜半導(dǎo)體層、n型半導(dǎo)體層、多量子阱有源層、p-AlGaN電子阻擋層、p型半導(dǎo)體層、p+-GaN層、非摻雜InxAlyGa1-x-yN層、n型超晶格結(jié)構(gòu)層和金屬電極,所述p+-GaN層、非摻雜InxAlyGa1-x-yN層和n型超晶格結(jié)構(gòu)層共同構(gòu)成p-i-n隧道結(jié)結(jié)構(gòu)。本發(fā)明利用p-i-n隧道結(jié)結(jié)構(gòu)作為LED芯片頂部的歐姆接觸層,既可以提高LED器件電流擴展...
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