技術(shù)編號：7009713
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及物理冶金級硅太陽能電池制造過程中的擴(kuò)散工藝，尤其是一種能提升冶金級硅片少子壽命的擴(kuò)散工藝。其特點(diǎn)是，包括如下步驟（1）低溫進(jìn)舟、初步升溫；（2）通源擴(kuò)散；（3）恒溫推進(jìn)；（4）降溫、退舟。本發(fā)明的有益效果是1.采用噴淋式擴(kuò)散可節(jié)省磷源，同時(shí)提高擴(kuò)散結(jié)深的均勻性，并且適合做高方阻；2.針對物理冶金硅的特性，采用雙面磷吸雜，增強(qiáng)吸雜效果，提升硅片少子壽命；3.通過溫度與時(shí)間的協(xié)調(diào)，有效改善擴(kuò)散工藝；4.控制通氧與通源量的比例，減少由于直接擴(kuò)散引起的缺...
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