技術(shù)編號(hào)：7010157
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了監(jiān)控生產(chǎn)工藝的方法及生產(chǎn)工藝監(jiān)控裝置。一種監(jiān)控生產(chǎn)工藝的方法包括通過使用測(cè)量裝置分析等離子體發(fā)射光的發(fā)射強(qiáng)度來產(chǎn)生測(cè)量數(shù)據(jù)，當(dāng)生產(chǎn)工藝裝置中的等離子體氣體從對(duì)應(yīng)于高能態(tài)的能級(jí)變成對(duì)應(yīng)于低能態(tài)的能級(jí)時(shí)產(chǎn)生所述等離子體發(fā)射光；基于測(cè)量數(shù)據(jù)產(chǎn)生補(bǔ)償值，所述補(bǔ)償值通過抵消由于生產(chǎn)工藝裝置和測(cè)量裝置的污染或測(cè)量裝置的測(cè)量位置導(dǎo)致的靈敏度的變化而產(chǎn)生；基于補(bǔ)償值監(jiān)控生產(chǎn)工藝。專利說明監(jiān)控生產(chǎn)工藝的方法及生產(chǎn)工藝監(jiān)控裝置[0001]本申請(qǐng)要求于2013年I月...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。