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一種低濃度摻雜發(fā)射區(qū)的快恢復(fù)二極管芯片及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7010738

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本發(fā)明涉及一種功率器件及其制造方法,具體涉及。二極管芯片包括金屬陰極和金屬陽極,P型摻雜層,N型摻雜層,以及設(shè)置在P型摻雜層與N型摻雜層之間的N型襯底,場氧化層以及鈍化保護層結(jié)構(gòu),其陽極為低濃度P型摻雜區(qū),陰極為低濃度N型緩沖摻雜區(qū)和低濃度N型增強摻雜區(qū),并通過正面保護工藝形成背面注入摻雜的特殊制造方式形成器件結(jié)構(gòu)。本發(fā)明通過降低陽極與陰極發(fā)射極區(qū)的摻雜濃度從而降低PN結(jié)自鍵電勢差,減少P型摻雜區(qū)域注入的空穴總量,從而整體優(yōu)化了恢復(fù)二極管的性能,在保證快恢...
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