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薄膜晶體管基板和具備它的液晶顯示裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:7012694

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本發(fā)明涉及薄膜晶體管和具備它的液晶顯示裝置,特別涉及具有使用包含氧化物半導體的半導體層的薄膜晶體管的薄膜晶體管基板和液晶顯示裝置。背景技術構(gòu)成液晶顯示裝置的薄膜晶體管基板中,作為圖像的最小單位的各像素的開關元件,使用薄膜晶體管(Thin Film Transistor,以下也稱為“TFT”)。以往,使用半導體層包含非晶硅的TFT,而近年來,提出了具備包含氧化物半導體膜的半導體層的TFT代替具備非晶硅半導體層的TFT。具備氧化物半導體膜作為半導體層的TFT表...
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