技術(shù)編號(hào)：7012952
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基材保持器(6)，其在用于處理半導(dǎo)體基材的設(shè)備(1)的處理室(4)中使用，該基材保持器具有平的上側(cè)面(5)，在所述上側(cè)面中具有至少一個(gè)用于容納基材的凹陷(12)，其中，所述凹陷(12)具有底面(13)和環(huán)形封閉的壁(14)，具有多個(gè)從壁(14)向凹陷內(nèi)突伸的突起(15)，所述突起構(gòu)成用于支撐基材的邊緣段的支撐面(19)，其中，凹陷(12)的所有的支撐面(19)位于一個(gè)公共的平面(E)內(nèi)，該平面在穿過底面(13)的最高抬升的平面(12)上方延伸...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。