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用于增強(qiáng)電荷載流子的遷移率的方法和設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7013838

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本發(fā)明用于增強(qiáng)電荷載流子的遷移率的方法和設(shè)備。一種集成電路可以包括兩個(gè)類型的半導(dǎo)體器件。第一類型的器件可以包括金屬柵極和以第一方式應(yīng)變的溝道。第二類型的器件可以包括金屬柵極和以第二方式應(yīng)變的溝道。柵極可以共同地包括三種或者更少金屬材料。柵極可以共享相同金屬材料。一種在集成電路上形成半導(dǎo)體器件的方法可以包括分別在集成電路的與第一和第二柵極對(duì)應(yīng)的第一和第二區(qū)域中沉積第一和第二金屬層。專利說明用于增強(qiáng)電荷載流子的遷移率的方法和設(shè)備 [0001] 本公開內(nèi)容...
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