技術(shù)編號(hào)：7014391
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種變方阻薄膜電阻網(wǎng)絡(luò)，涉及器件和信號(hào)測(cè)量領(lǐng)域，使用多晶硅薄膜電阻技術(shù)和表面微加工技術(shù)制作，包括中心薄膜電阻、旁路薄膜電阻、信號(hào)傳輸線以及地線共同形成的完整信號(hào)通路，如T型/π型網(wǎng)絡(luò)，為了獲得較大的衰減量，中心電阻和旁路電阻的差值非常大，采用相同方阻會(huì)帶來尺寸躍變問題，本發(fā)明通過控制離子注入工藝條件，使中心薄膜電阻和旁路薄膜電阻具有不同的雜質(zhì)元素濃度，從而獲得不同的方塊電阻，有效調(diào)節(jié)了大幅度調(diào)整信號(hào)時(shí)電阻網(wǎng)絡(luò)的長(zhǎng)寬尺寸，同時(shí)，可以采用上述原理使相同尺寸的電...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。