技術(shù)編號：7023602
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及平坦基板的處理領域，具體涉及處理平坦基板的裝置。本實用新型特別涉及使用彼此不同的液體，進行固定于保持裝置的平坦基板（尤其是硅片等）的處理以及平坦基板自保持裝置剝離的準備。本實用新型的處理平坦基板的裝置具有收納液體的槽（1）、改變保持裝置（3）和槽（1）之間的垂直距離的裝置（2）、分別向槽（1）內(nèi)供給適用于進行所述平坦基板（4）的處理或剝離平坦基板（4）的準備的至少二種液體的機構(gòu)、以及優(yōu)選的從所述槽（1）除去液體的機構(gòu)。專利說明處理平坦基板的裝...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。