技術(shù)編號:7031523
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及氧化物燒結(jié)體及其制造方法、濺射靶材、氧化物透明導(dǎo)電膜及其制造方法、和太陽能電池。背景技術(shù)氧化物透明導(dǎo)電膜具有低電阻和可見光區(qū)域中的高透過率,被用作液晶等的顯示元件、太陽能電池等的各種受光元件。在氧化物透明導(dǎo)電膜當(dāng)中,氧化銦膜以添加了錫的ITO膜、添加了鋅的IZO膜的形式得到廣泛利用。在作為重視在較寬的波長區(qū)域的透光性的太陽能電池用途的氧化物透明導(dǎo)電膜的利用時,期望不僅在可見光區(qū)域而且在紅外區(qū)域的透光性進(jìn)一步得到提高。對于這種要求,在ITO膜中降低...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。