技術(shù)編號：7033760
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及基板處理裝置以及基板處理系統(tǒng)，特別涉及對分別具有多個副基板的多個基板中的每個基板進行指定的處理的基板處理裝置以及基板處理系統(tǒng)。背景技術(shù)以往，對分別具有多個副基板的多個基板中的每個基板進行焊料的印刷、電子元件的安裝等指定的處理的基板處理裝置為人所知。一般而言，在利用基板處理裝置對多個基板進行指定的處理時，有時對這些多個基板中的每個基板所具有的多個副基板中的每個副基板附有表示該副基板不良的不良標(biāo)記(損壞標(biāo)記)。在這種情況下，如上所述的以往的基板處理裝...
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