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接合裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7038682

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本發(fā)明提供一種能夠謀求壓電元件驅(qū)動的負(fù)荷的輕量小型化,另外,能夠減輕來自工件的熱量對壓電元件的影響的接合裝置。該接合裝置具有具有與接合工具(8)的中心軸相對的承受部(6c)的接合臂(5);與接合工具(8)接觸的一對毛細(xì)管保持部(9、10);與毛細(xì)管保持部(9、10)接觸并產(chǎn)生超聲波振動的一對壓電元件(11、12);與接合臂的承受部相對配置的加壓體(18);以及由使加壓體朝著接合臂的承受部移動的移動機(jī)構(gòu)構(gòu)成的加壓機(jī)構(gòu),在使一對壓電元件、一對毛細(xì)管保持部以及接...
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