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技術(shù)編號：7038787

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載臺裝置包括載臺(WST、MST)和平面馬達(dá)，所述載臺能夠在載臺底座上沿XY平面移動，所述平面馬達(dá)具有設(shè)置在各個載臺(WST、MST)上的第一和第二磁鐵單元(51A、51B)、以及包括二維排列在載臺底座上的多個線圈的線圈單元(60)，并且所述平面馬達(dá)通過由于與磁鐵單元(51A、51B)之間的電磁相互作用而產(chǎn)生的驅(qū)動力來驅(qū)動載臺(WST、MST)。按照以下方式來確定磁鐵的布局在載臺(WST、MST)在載臺底座上在Y軸方向上相互接近至預(yù)定距離以內(nèi)或者接觸的狀態(tài)...
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