技術編號：7039009
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于分離、至少部分干燥和檢驗電子元件的方法，包括分離裝置、承載電子元件的載體、用于產生輻射熱的加熱源、用于將承載電子元件的載體相對于加熱源移位的移位裝置，以及目檢裝置。加熱源配置用于產生輻射熱，以便選擇性地加熱和蒸發(fā)分離后電子元件上的水分。專利說明 [0001]本發(fā)明涉及一種。 背景技術 [0002]在電子元件例如更特別地是半導體產品的制造過程期間，這些電子元件通過以更大的整塊電子元件的方式進行制造，該整塊電子元件隨后被分割(這個過...
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