技術(shù)編號：7039666
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種解決DV微影對準標志破壞的方法，包括如下步驟步驟一，DV微影光罩上設(shè)置DV對準標志圖形，進行DV微影工藝在待處理晶圓上定義DV對準標志圖形；步驟二，刻蝕待處理晶圓上DV對準標志圖形，形成溝槽形式的DV對準標志；步驟三，TE微影光罩上設(shè)置類DV對準標志圖形，進行TE微影工藝在待處理晶圓上定義類DV對準標志圖形；步驟四，進行TE干法蝕刻干法刻蝕所述DV對準標志的溝槽。本發(fā)明一種解決DV微影對準標志破壞的方法，在TE微影工藝時，將DV對準標志上的光阻打開，T...
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