技術(shù)編號：7040955
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種基板處理裝置，提高載置臺的溫度響應(yīng)性。該基板處理裝置包括腔室；設(shè)置于上述腔室內(nèi)，用于載置基板的載置臺；施加高頻電力的高頻電源；和對上述腔室內(nèi)供給所期望的氣體的氣體供給源，上述載置臺包括形成有流通冷媒的流路的第一陶瓷基材；形成在上述第一陶瓷基材的載置基板的一側(cè)的主面和側(cè)面的第一導(dǎo)電層；和層疊在上述第一導(dǎo)電層上，靜電吸附所載置的基板的靜電吸盤，上述流路的體積為上述第一陶瓷基材的體積以上，利用施加在上述第一導(dǎo)電層上的高頻電力，從上述所期望的氣體生成...
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