技術(shù)編號(hào)：7041813
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種基板處理裝置，其包含向保持于旋轉(zhuǎn)卡盤的基板的上面供給磷酸水溶液的磷酸供給裝置；基板上保持有磷酸水溶液的狀態(tài)下朝向基板的上面的一部分發(fā)出熱的加熱器；通過移動(dòng)加熱器，使由加熱器加熱的加熱位置在基板的上面內(nèi)移動(dòng)的加熱器移動(dòng)裝置；基板上保持有磷酸水溶液的狀態(tài)下朝向基板的上面的一部分噴出水的水噴嘴；通過移動(dòng)水噴嘴，使水的附著位置在基板的上面內(nèi)移動(dòng)的水噴嘴移動(dòng)裝置。專利說明基板處理裝置[0001]本發(fā)明涉及一種處理基板的基板處理裝置。作為處理對(duì)象的基板包括例如，半...
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