技術(shù)編號:7043433
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種單模光子晶體邊發(fā)射半導(dǎo)體激光器,包括一疊層結(jié)構(gòu),所述疊層結(jié)構(gòu)包括一下電極;一N型襯底制作在該下電極上;一N型限制層制作在該N型襯底上;一有源層制作在該N型限制層上;一P型限制層,其中間為沿縱向凸起的三段式波導(dǎo),該三段式波導(dǎo)的兩側(cè)為相對的錐形波導(dǎo),之間為光子晶體波導(dǎo),其制作在該有源層之上;一P型蓋層,其制作在該P型限制層上的三段式波導(dǎo)的上面;一SiO2絕緣層,其制作在P型限制層上的三段式波導(dǎo)的側(cè)壁上,并覆蓋P型限制層的上面,形成基片;以及一上電極,其制作...
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