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技術(shù)編號(hào)：7043870

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本發(fā)明提供,其生長(zhǎng)方法包括以下步驟襯底在高溫的氫氣環(huán)境下處理完成后，AlGaN層生長(zhǎng)結(jié)束后，停止通入三甲基鋁（TMAl），在其他生長(zhǎng)條件不變的情況下生長(zhǎng)一層非摻雜GaN層，非摻雜GaN層生長(zhǎng)結(jié)束后，停止通入TMGa，PN2環(huán)境下退火，生長(zhǎng)一層摻雜In的GaN層，InGaN層結(jié)束后，停止通入TMIn，生長(zhǎng)一層Al組分逐漸降低的AlGaN層，Al組分逐漸降低的AlGaN層結(jié)束后，停止通入所有MO源，再在PN2環(huán)境下退火；本發(fā)明通過在藍(lán)寶石襯底上生復(fù)合成核層以及...
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