技術(shù)編號：7044207
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提出了一種嵌套工具和反應(yīng)腔室，嵌套工具包括圓柱體和端面，兩者固定在一起，將嵌套工具的圓柱體嵌入至反應(yīng)腔室的開孔中，端面位于開孔外，固定嵌套工具不會落入開孔中，因此能夠保護(hù)開孔的表面，在對反應(yīng)腔室進(jìn)行清理維護(hù)時，可以取出嵌套工具進(jìn)行清理和維護(hù)，降低了清理難度，維護(hù)了整個反應(yīng)腔室的潔凈度，同時還能夠保護(hù)開孔不被損傷。專利說明嵌套工具和反應(yīng)腔室[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種嵌套工具和反應(yīng)腔室。背景技術(shù)[0002]在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，沉積...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。