技術(shù)編號：7044507
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了，涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝領(lǐng)域，包括將集成電路生產(chǎn)流程中的產(chǎn)品的若干工藝的工藝時間存儲在生產(chǎn)服務(wù)器中；將產(chǎn)品的若干工藝對應(yīng)的缺陷檢測抽樣的規(guī)則和檢測的時間存儲在缺陷檢測數(shù)據(jù)服務(wù)器；預(yù)測產(chǎn)品的若干工藝的產(chǎn)能以調(diào)整產(chǎn)品的若干工藝對應(yīng)的缺陷檢測抽樣的規(guī)則和檢測的時間。本發(fā)明的技術(shù)方案可以最大程度的防止由于生產(chǎn)線上產(chǎn)品分布不均造成設(shè)備的閑置，并在確保產(chǎn)品缺陷監(jiān)控的前提下以較快的速率在生產(chǎn)線上流通，減少產(chǎn)品生產(chǎn)的周期提高生產(chǎn)的效率。專利說明[0001]本發(fā)明涉...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。