技術編號：7045037
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種至少包括下列步驟。(1)利用第一對位記號與第二對位記號量測出第一膜層圖案與第二膜層圖案之間的第一偏移值D1。(2)利用第一偏移值D1計算出第一虛擬原點值O1。(3)利用第二對位記號與第一罩幕對位記號量測出第二膜層圖案與第一罩幕圖案之間的第二偏移值D2。(4)利用第一虛擬原點值O1與第二偏移值D2計算出第一罩幕圖案與第一虛擬原點之間的第三偏移值D3。(5)判斷第三偏移值D3是否在規(guī)格值的范圍內。專利說明[0001]本發(fā)明是有關于一種。背景技術[0002]...
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