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一種氧化物薄膜晶體管及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7045318

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本發(fā)明公開(kāi)了,包括襯底基板,襯底基板上依次設(shè)有柵極、柵極絕緣層和半導(dǎo)體有源層,半導(dǎo)體有源層位于柵極兩側(cè)位置分別設(shè)有源極和漏極,源極和漏極之間為導(dǎo)電溝道,半導(dǎo)體有源層包含依次覆蓋在柵極絕緣層上阻值為R1的第一氧化物薄膜、阻值為R2的第二氧化物薄膜和阻值為R3的第三氧化物薄膜,第三氧化物薄膜源極和漏極位置阻值為R4,R4由特殊工藝減小第三氧化物薄膜的源極和漏極位置阻值得到,R1及R3的阻值均大于R2。保護(hù)絕緣層覆蓋在除源極和漏極位置的半導(dǎo)體有源層上;金屬層覆蓋...
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